半导体产业面临的挑战

半导体产业是世界上最大的附加价值产业之一,是一个饥渴的行业。一块8英寸的硅片(约100个芯片的基础)可能需要7500升水来生产。其中大约三分之二必须是超纯水。UPW可以看作是一种工业溶剂。它是根据所有污染物类型的最严格标准进行净化的,包括有机和无机化合物,溶解和颗粒物质,以及溶解气体。

作为超纯水(UPW)的最大优质水消费者,半导体行业面临着巨大的水资源挑战。该行业不仅需要大量高标准的水。

它本身就会产生大量的废水,这些废水需要满足处理或再利用的最低标准。

减少、再利用和循环利用是缓解当地可用水源、环境和总生产成本的必要条件。

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应用程序

我们提供了一系列不同的超滤(UF)技术,非常适合制取超纯水(UPW)过程中的预处理阶段。X-Flow中空纤维超滤技术解决了总悬浮物、浊度、细菌和病毒等问题。著名的X-Flow技术Xiga和Aquaflex是预处理反渗透(RO)的行业标准。

工艺水处理
超纯水(UPW)的最大消费者是半导体行业。硅片是芯片和光伏电池的基础,UPW对于硅片表面的清洗和漂洗是必不可少的。通常情况下,晶圆的大小和水质是密切相关的;较小的晶圆要求较高的水质。UPW中的微量杂质会导致成品率下降,甚至晶圆出现缺陷。随着晶圆尺寸的不断缩小,去除UPW中的微量杂质变得越来越重要,其中包括被认为最难去除的二氧化硅。
二氧化硅以不同的形式存在于水中,如溶解态、胶体态或颗粒态。水蒸发后留在晶圆表面的水中杂质会损坏晶圆表面。例如,二氧化硅可以作为导电表面之间的桥梁。半导体行业要求表明,UPW中的二氧化硅(SiO2)含量不得超过0.3 ppb。

废水处理
随着工业用水的大量消耗,相应地产生了大量的废水。工业废水生产和潜在的水生污染正受到监管机构的密切监测,监管机构监测水的消耗和排放水的质量。

治疗方案

X-Flow产品组合包括一系列毛细管和管状技术,是专门为水和废水处理中高出水质量和小占地面积设计而开发的稳健解决方案。

主要性能指标,如占地面积、能源和化学品消耗,是设计量身定制的水处理装置的基础。超滤是反渗透和其他最终抛光方法的理想预处理,并将导致延长寿命和增强这些下游工艺的性能。Pentair Advanced Filtration是您的合作伙伴,为您的水挑战提供最优解决方案。




水的重复利用是减少半导体行业足迹的一个关键因素。回收利用提供了巨大的投资回报,如果你能迅速生产出可重复使用的废水,几个月就能收回成本。Pentair X-Flow是MBR技术的领先供应商,其特点是高生物降解效率和出水质量。我们提供的解决方案,通过专注于可靠性,成本效益和协同作用,使苛刻的应用与众不同。我们的集成方法和技术提供了最好的重用机会。
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